СайтКварцевая перегородка с отверстиями — это прецизионно разработанный компонент, предназначенный для оптимизации потока газа и равномерности температуры в полупроводниковых и фотоэлектрических печах. Изготовленный из высокочистого плавленного кварца, он обладает отличной термической устойчивостью, химической инертностью и структурной устойчивостью при повышенных температурах.

Стратегически расположенная внутри реактивных труб или камер, перегородка помогает равномерно распределять технологические газы, снижать турбулентность и минимизировать загрязнение частицами. Её прочная конструкция выдерживает многократные термические циклы, сохраняя стабильную производительность в процессах диффузии, окисления, LPCVD и отжига.

Функция отверстий на кварцевых перегородках

Отверстия на кварцевом перегородке выполняют несколько критически важных функций при обработке полупроводниковых пластин:

• Даже распределение газа —Они позволяют технологическим газам (например, кислороду, азоту или легируемым газам) равномерно перемещаться по пластинам, предотвращая неравномерное воздействие.
• Тепловая равномерность –Обеспечивая контролируемый поток газа, отверстия помогают поддерживать стабильную температуру на всех поверхностях пластин, уменьшая появление горячих точек.
• Контроль загрязнения –Отверстия помогают предотвратить обратный поток или турбулентность, которые могут переносить частицы на поверхность пластины, улучшая чистоту процесса.
• Повышение эффективности процессов –Правильно спроектированные отверстия оптимизируют смешивание и диффузию газа, что приводит к более равномерному осаджению пленки или результатам окисления.

Короче говоря, отверстия превращают перегородку из простого барьера в устройство точного управления потоком, обеспечивающее равномерную и надёжную обработку пластин.