Название:
8-дюймовое кварцевое кольцо OP
Функция и применение:
Действует в качестве защитного компонента, предотвращая различные загрязнения в процессе травления, обеспечивая герметизацию и защиту камеры. Он применяется в процессах травления по изготовлению пластин, которые являются низкотемпературными процессами.
Требования к производительности:
Высокая устойчивость к температурам, коррозионная устойчивость, отличная термическая устойчивость и низкое содержание примесей.
No5177 Западная улица Цянхуа, улица Дунцянь, район Наньсюнь, город Хучжоу, провинция Чжэцзян
+86-572-3032373
+86-572-3033016
СайтOP Кварцевое кольцо — это высокоточный компонент, изготовленный из сверхчистого плавленного кремнезёма, предназначенный для надёжной поддержки, герметизации или расположения расстояний в полупроводниковых и фотоэлектрических системах обработки. Известное своей исключительной термической стабильностью, низким тепловым расширением и выдающейся химической устойчивостью, это кольцо выдерживает суровые условия обработки и повторяющиеся термические циклы.
Его точные размеры обеспечивают оптимальную посадку и выравнивание в сборках печей, способствуя равномерному контролю потока газа и температуры при таких процессах, как CVD, диффузия и отжиг. Кольцо из сплавленного кремнеземного стекла помогает поддерживать окружающую среду без загрязнений, что критически важно для достижения стабильного качества пластин и высокого выхода процесса.
OP (непрозрачные) кварцевые кольца — это специализированные компоненты, предназначенные для высокотемпературных полупроводниковых процессов, где термическая изоляция и снижение радиационного эффекта имеют решающее значение. По сравнению со стандартными кварцевыми кольцами, OP Quartz Rings обеспечивают более высокую непрозрачность, лучшую теплоизоляцию и меньшую светопропускательность, что помогает поддерживать стабильные условия печи и минимизировать загрязнение пластин.
Стандартные кварцевые кольца, хотя и химически чисты и термически устойчивы, пропускают больше теплового излучения и лучше подходят для универсальных применений, где изоляция менее критична. Выбор между оригинальными и стандартными кварцевыми кольцами зависит от требований процесса, конструкции печи, а также необходимости тепловой равномерности и защиты пластин.
Ключевые моменты: