Высокочистые кварцевые перегородки для выравнивания потокаявляются прецизионными компонентами, разработанными для регулирования и стабилизации потока технологических газов во время высокотемпературных этапов производства полупроводников, таких как диффузия, окисление и осаждение с сердечно-сосудистыми заболеваниями. Установленные внутри системы печи, эти перегородки направляют и равномерно распределяют газ по поверхности пластины, помогая поддерживать равномерную концентрацию и температуру газа по всей кварцевой лодке.

Изготовленные из высокочистого плавленного кварца, эти перегородки обеспечивают выдающуюся термическую устойчивость, отличную устойчивость к химической коррозии и крайне низкое содержание примесей — обеспечивая чистые и контролируемые условия обработки. Пескоструйная поверхность улучшает эффективность расселения газа и минимизирует образование частиц. Способствуя постоянному воздействию газа, эти перегородки способствуют улучшению однородности слоёв, снижению уровня дефектов и повышению выхода процесса как на производственных линиях, так и в НИОКР-зонах.

Назначение и функция перегородок для выравнивания потока в обработке полупроводников

Что такое перегородки для выравнивания потока?

Перегородки для выравнивания потока — это прецизионные кварцевые компоненты, установленные внутри печей для диффузии, окисления и CVD (химического испарения). Они равномерно направляют и распределяют технологические газы по камере печи, предотвращая неравномерную концентрацию газа или температурные градиенты, которые могут привести к дефектам или неравномерному легированию.

Как работают перегородки для выравнивания потока?

Перегородки обычно имеют несколько небольших отверстий или перфораций, предназначенных для разбиения и перераспределения газовых потоков. Это выравнивание создаёт ламинарный, стабильный поток газа по поверхности пластины. Изготовленные из высокочистого кварца, перегородки устойчивы к высоким температурам и коррозионным газам, характерным для полупроводниковых процессов, обеспечивая долговечность и безопасную работу без загрязнений.

Применения в обработке полупроводников

Перегородки выравнивания потока критически важны в таких процессах, как:

• Диффузия
• Окисление
• Химическое осаждение (CVD)

Они применяются в печах для серийной обработки, где одновременно обрабатывается несколько пластин, и единообразие имеет решающее значение.