СайтКачественная лодка из кварцевой плитки— это высокопроизводительный носитель пластины, разработанный для использования в процессах производства полупроводников при высоких температурах, таких как диффузия, окисление и осаждение в CVD. Изготовленная из высокочистого плавного кварца, эта лодка имеет дугудную изогнутую пластину с двумя центральными рядами точно просверленных отверстий. Такая конструкция обеспечивает равномерный поток газа и равномерное нагрев на всех поверхностях пластин, обеспечивая полную и чистую реакцию с технологическими газами в контролируемых атмосферах, таких как азот, кислород или другие инертные газы.

Её пескоструйная поверхность снижает выброс частиц, одновременно улучшая термическую стабильность и механическое сцепление во время обработки. Благодаря отличной устойчивости к высоким температурам и коррозионным средам, а также низкому уровню примесей, эта плиточная лодка обеспечивает чистую работу и стабильное позиционирование пластин. Он идеально подходит как для производственных, так и для НИОКР сред, где критически важны согласованность процесса и чистота материалов.

Для чего хорошо используются лодки из кварцевой плитки?

Качественные кварцевые плиточные лодки играют важную роль в полупроводниковой промышленности, особенно при высокотемпературном производстве пластин. Эти прецизионные носители спроектированы для надёжного удержания кремниевых пластин, обеспечивая равномерное нагрев и оптимальный поток газа внутри перерабатывающих печей.

Применение кварцевых черепичных лодок

Процессы диффузии

Кварцевые плиточные лодки поддерживают пластины во время диффузии, когда допанты вводятся в кремниевую подложку при высоких температурах. Их конструкция обеспечивает равномерное распределение газа, что помогает обеспечить равномерное проникновение легирующего вещества во все пластины.

Процессы окисления

Во время окисления кремниевые пластины образуют тонкий оксидный слой на поверхности. Материал и перфорированная конструкция лодки из кварцевой плитки обеспечивают стабильные тепловые условия и газопоток, что необходимо для постоянной толщины оксида.

Химическое осаждение (CVD)

В процессах сердечно-сосудистых заболеваний тонкие пленки осаждаются на пластинах посредством химических реакций газообразных прекурсоров. Кварцевые плиточные лодки обеспечивают равномерное воздействие реактивных газов на пластины, улучшая равномерность и качество пленки.

Почему выбирают качественные лодки из кварцевой плитки?

• Материал высокой чистоты: Изготовленные из высокочистого кварца с плавлением, эти плиточные лодки устойчивы к коррозии и минимизируют загрязнение, что критически важно для поддержания целостности пластин.
• Равномерное отопление: Дуговая изогнутая пластина с рядами маленьких отверстий способствует равномерному распределению температуры и газопотоку.
• Долговечность: Отличная термическая устойчивость и коррозионная устойчивость позволяют многократно использовать в суровых условиях высокой температуры.
• Совместимость: Разработан для использования в средах с высокочистым азотом, кислородом или инертными газами, чтобы предотвратить загрязнение пластин.

Качественные кварцевые плиточные лодки являются необходимыми инструментами при производстве полупроводниковых пластин, обеспечивающих точный контроль тепловых и химических условий. Их уникальная конструкция и свойства материала значительно влияют на качество пластин, выход и общую надёжность процесса.