Название:

Серия кварцевых лодок диаметром 6 дюймов

Функция и применение:

В эту серию входят различные кварцевые лодки, такие как клеточные лодки, перегородочные лодки, базовые лодки и стандартные вафельные лодки, предназначенные для поддержки кремниевых пластин при высокотемпературных полупроводниковых процессах, таких как диффузия, окисление, осаждение CVD и очистка пластин. Эти различные формы и конструкции оптимизируют газопоток, термическую равномерность и стабильность пластин в широком спектре производственных и исследовательских применений.

Требования к производительности:

Конструкция из кварца высокой чистоты с отличной термической устойчивостью, коррозионной устойчивостью и низким содержанием примесей. Прочная конструкция, способная выдерживать повторяющиеся термические циклы. Гладкие, полированные или пескоструйные поверхности для минимизации образования частиц и загрязнения, обеспечивая совместимость с автоматизированными системами обработки пластин и различными типами печей.