СайтКварцовая перегородкаПокрыта матовой, пескоструйной поверхностью, предназначенной для обеспечения эффективной теплоизоляции в трубах полупроводниковых печей при высоких температурах. Её структура включает небольшие трубки для обеспечения точного впрыска технологических газов, необходимых для производства пластин, таких как диффузия, окисление и осаждение в CVD.

Изготовленная из кварца с высоким содержанием плавления, эта перегородка обладает отличной устойчивостью к нагреву, химической коррозии и тепловому удару, при этом сохраняя низкий уровень примесей для минимизации риска загрязнения. Пескоструйная поверхность повышает тепловые характеристики и снижает образование частиц, обеспечивая стабильный контроль температуры и равномерное распределение газа на протяжении всего процесса. Идеально подходит для полупроводниковых фабрик и лабораторий исследований и разработок, Quartz Baffle улучшает единообразие процесса и качество пластин.

Как кварцевые перегородки улучшают равномерность и выход пластин

1. Обеспечение равномерного потока газа

Кварцевые перегородки равномерно направляют процессующие газы по всем пластинам. Предотвращая локализованную газовую турбулентность, они помогают поддерживать стабильные химические реакции и слойное накопление, что снижает вариации между пластинами.

2. Управление тепловым распределением

Перегородки отражают и диффундируют тепловую энергию, минимизируя горячие точки и прямое излучение на поверхности пластин. Такое равномерное распределение температуры обеспечивает точное процессы диффузии, окисления и осаждения, защищая пластины от теплового напряжения.

3. Предотвращение загрязнения

Точная конструкция кварцевых перегородок снижает генерацию частиц и обратный поток побочных продуктов процесса. Более чистые условия обработки способствуют более высокой урожайности и снижению уровня дефектов.

4. Совместимость с автоматизированными системами

Высококачественные кварцевые перегородки производятся с точными допусками, обеспечивая правильное выравнивание и интеграцию с носителями пластин и автоматизированными системами обработки, поддерживая надёжность и повторяемость процесса.

Оптимизируя поток газа и тепловую равномерность, минимизируя риски загрязнения, кварцевые перегородки играют ключевую роль в улучшении однородности пластин и увеличении выхода производства полупроводников.