СайтИзогнутая пластинчатая кремнеземная лодка— это высокоточный носитель пластины, предназначенный для применения в полупроводниках, включающих высокотемпературную пакетную обработку, такую как диффузия, окисление и осаждение в CVD. Изготовленная из кремнезёма с высокой чистотой, она обеспечивает исключительную термическую устойчивость, минимальное тепловое расширение и отличную устойчивость как к коррозии, так и к тепловому удару.

Её изогнутая пластинная конструкция обеспечивает стабильную поддержку пластины и улучшает равномерный поток газа и теплопередачу внутри трубки печи. Гладкая, чистая поверхность минимизирует образование частиц, а высокая оптическая прозрачность материала обеспечивает визуальный осмотр при необходимости. Разработанная для равномерного выравнивания пластин и низкого риска загрязнения, лодка из сплавленного кремнезёма согта соответствует строгим требованиям передового производства полупроводников, исследовательских лабораторий и пилотных линий.

Почему её называют Curved Plate Quartz Boat?

Термин «изогнутая кварцовая лодка» происходит как от её материала, так и от конструкционной формы:

Кварц:Лодка изготовлена из высокочистого кварца (сплавленного кремнезема), материала, ценящегося в производстве полупроводников за отличную термическую устойчивость, химическую устойчивость и низкое содержание примесей.

Изогнутая пластина:В отличие от плоских или трубчатых лодок, эта конструкция имеет пластину, изогнувшуюся или изогнувшуюся в дугу. Эта изогнутая (изогнутая) конструкция пластин помогает улучшить распределение газового потока и тепловую равномерность вокруг пластин при высоких температурах обработки. Кривизна обеспечивает лучшее воздействие обработочных газов пластин и более равномерное распределение тепла.

Лодка:В полупроводниковой обработке термин «boat» — это отраслевый термин для носителя или приспособления, надёжно удерживающего пластины во время работы в печи или диффузионных трубках.

Таким образом, «Изогнутая кварцевая лодка» буквально означает кварцевый носитель пластин с изогнутой (изогнутой) конструкцией, оптимизированной для равномерной обработки пластин в высокотемпературном производстве полупроводников.